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MFC1000系列气体质量流量控制器
一、MFC1000系列质量流量控制器产品概述：
MFC1000质量流量控制器，采用了热帖片式原理，而且克服了热式对于预热时间的要求，预热时间仅需要70ms，且保证了流量控制的稳定性和精确度;同时具备200:1的超高量程比，可以满足更多的客户流量控制应用场合。
材质上，采用了316不锈钢主体，FKM密封，并具备较强的抗振动性能；使用上，配备了数字RS485及模拟0-5VDC通过9针的工业插头可轻松实现数字、模拟信号的测控。维护上影响设备寿命与精度的是被测气体的质量。该系列质量流量控制器设计用于测控洁净、干燥、无腐蚀性的气体。仪器无需定期清洁。如有必要，可用柔软的干抹布擦拭设备外部即可。
二、MFC1000系列质流量控制器产品特点：
● 价格低廉，
● 超小的体积，轻松置于掌心，适合系统集成
● 快速的响应时间，70毫秒的预热时间
● 压损极低，满量程仅为10mbar
● 内置精巧的PD阀，控制稳定、精确
● 最高可达200:1的量程比，一台设备适用于多个应用
● 配备模拟控制和数字控制，赠送电脑操作软件
● 抗振性能，可适用于铁路焊机等严格场合
三、MFC1000系列质量流量控制器产品技术参数：
性能 | MFC1000-100sccm | MFC1000-1000sccm | MFC1000-20SLPM |
量程 | 100sccm | 1000sccm | 20SLPM |
精度(标定工况下） | ±(1.5%+0.5%FS) | ||
重复性 | ±0.5%FS | ||
零点漂移/满量程漂移 | 0.05%FS/ 年 | ||
工作范围/量程可调比 | 100:1 | ||
最大可控流量 | 102%FS | ||
典型响应时间 | 100ms | ||
启动预热时间 | 70ms | ||
工作温度 | 0~+50℃ | ||
温度漂移：与标定温度20℃每相差 1℃，精度增加0.12%。 | |||
产品型号 | 满量程压损 排气到大气中 | 设备尺寸 mm³ | 管道连接接口 |
MFC1000-100sccm | 150Pa | 63.5 X 66.5 X 22.2 | 1/8" NPT 母 |
MFC1000-1000sccm | 800Pa | ||
MFC1000-20SLPM | 2000Pa | 70.5 X 74.2 X 26.0 | 3/8" NPT 母 |
